דיוק העיבוד של כלי חיתוך מתכת CNC שופר מרמת החוט המקורית (0.01 מ"מ) לרמת המיקרון (0.001 מ"מ), וחלק מהזנים הגיעו לכ-0.05 מיקרומטר. עבור מיקרו-חיתוך והשחזה של כלי מכונת CNC דיוק- במיוחד, הדיוק יכול להיות ביציבות של כ-0.05 מיקרומטר, ודיוק הצורה יכול להגיע לכ-0.01 מיקרומטר. הדיוק של עיבוד מיוחד באמצעות אור, חשמל, כימיקלים ומקורות אנרגיה אחרים יכול להגיע לרמה ננומטרית (0.001 מיקרומטר). באמצעות אופטימיזציה של תכנון מבנה כלי מכונות, גימור והרכבה אולטרה- והרכבה מדויקת של חלקי מכונות, שימוש בבקרת לולאה-סגורה{14}} מלאה-גבוהה וטכנולוגיית פיצוי שגיאות דינמית כגון טמפרטורה ורטט, הדיוק הגיאומטרי של עיבוד כלי המכונה משופרת, שיפור הצורה והשגיאה של פני השטח, וכו'. , כדי להיכנס לעידן של גימור אולטרה-תת-מיקרון וננו-.
